潔凈室檢測方法

一、測試目的

確認(rèn)在無塵室釋放顆粒后，測量在多少時間內(nèi)能恢復(fù)到釋放之前的潔凈水平。

二、測試儀器

顆粒測試儀（品牌：美國 MET ONE空氣粒子計數(shù)器），型號：HHPC2+、HHPC3+、HHPC6+；3413、3423、3411、3445、顆粒釋放器。

三、測試位置

任意抽取測量點，也可與相關(guān)人員共同確認(rèn)測試點。

四、測試步驟

1 .在測試開始之前要保證凈房空調(diào)系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)24以上，讓潔凈環(huán)境達(dá)到一個穩(wěn)定的水平。

2. 在抽取的測量點放好顆粒計數(shù)器，先做顆粒潔凈度測試，記錄該房間每立方英尺體積的空氣中含有的0.3um顆粒數(shù)量，連續(xù)測試數(shù)分鐘，待取一個穩(wěn)定的數(shù)據(jù)，此時，再將該房間的整個空調(diào)系統(tǒng)全部斷電。

3. 在該房間內(nèi)釋放顆粒，使于外界非潔凈區(qū)域的顆粒自使整個潔凈室0.3um的顆粒濃度達(dá)到之前濃度的10或100倍。此時再啟動空調(diào)系統(tǒng)，使其正常運(yùn)行，測試該潔凈室內(nèi)顆粒濃度恢復(fù)到之前水平所需要的時間 。